CIF到PG3600格式转换的算法研究
李金儒 陈宝钦 赵珉 汤跃科
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室,北京100029
摘 要:
提出了微光刻图形CIF数据格式到PG3600数据格式转换软件新的图形切割算法，该算法将L-EDIT输出的CIF格式中的四种图形当作任意多边形处理，然后把多边形切割成矩形。与其他算法相比较，该算法简单、切割理想、切割后的矩形数据量比其他算法少很多。并以此算法为基础，编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT上的数据格式转换软件。
学科分类:
TN305.6[工业技术 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备 > 制版]参考文献
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