射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量
许沭华 任兆杏 沈克明
中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031
摘 要:
利用双探针对ECR-PECVD装置中基片在射频偏置下的等离子体参数进行了测量。同时测量了在射频偏置下微波功率、磁场电流、进气量等参数对ECR-PECVD等离子体参数的影响。结果表明，在ECR-PECVD等离子体装置中，基片射频偏置对电子温度有影响，而等离子体密度主要由微波功率所决定。 (共4页)
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