用发射探针降落法测量等离子体空间电位

孙秋普[1] 邓新绿[2] 马腾才[2] 宋远红[2]

[1]齐齐哈尔大学物理系,齐齐哈尔161006 [2]大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116024

摘  要:

介绍了一种用发射探针测量等离子体空间电位的方法——“降落法”,并利用这种方法测量了双共振腔ECR微波等离子体源的空间电位分布,从中得到该等离子体内部的一些电场信息。给出了不同微波功率和不同压强下Ar等离子体空间电位的分布情况。 (共6页)

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