Fe-B合金化学沉积的影响因素分析

黄桂芳[1] 黄维清[1] 王玲玲[1] 朱一村[1] 王巧玲[2] 张建辉[2]

[1]湖南大学物理与微电子科学学院,湖南长沙410082 [2]长沙环境保护职业技术学院,湖南长沙410004

摘  要:

通过化学沉积法制备Fe-B化学镀层,用电化学方法分析了偶接铝、镀液组分和沉积工艺对Fe-B化学沉积行为的影响.结果表明,偶接铝使体系的沉积电位负移,降低了Fe—B合金化学沉积的极化阻力,特别是金属离子还原的极化阻力,从而诱导Fe—B的化学沉积.镀层的沉积速率依赖于镀液组分和沉积工艺. (共4页)

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