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薄膜应力分析及一些测量结果

《光学仪器》2001年 第5期 | 范瑞瑛 范正修   中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800
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摘 要:论述了薄膜应力在强激光膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数,老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果。
【分 类】【数理科学和化学】 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学 > 薄膜测量与分析
【关键词】 热应力 形变 沉积 老化 薄膜 应力分析
【出 处】 《光学仪器》2001年 第5期 84-91页 共8页
【收 录】 中文科技期刊数据库