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CCD摄像法在工件尺寸测量中的应用

《光学仪器》2002年 第3期 | 林晓峰 石少莉   浙江大学光电系,浙江杭州310027 浙江大学光学仪器厂,浙江杭州310027
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摘 要:建立了用于工件尺寸测量的CC D摄像测量系统.讨论了CCD摄像测量法的基本原理,简要介绍其软件系统,给出了部分 工件尺寸的测量结果.实验表明,测量系统可快速、精确、非接触地测量工件的边长与直径等尺寸,测量精度误差小于±2.5%.
【分 类】【工业技术】 > 金属学与金属工艺 > 公差与技术测量及机械量仪【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 场效应器件 > 肖特基势垒栅场效应器件
【关键词】 CCD摄像法 工件尺寸测量 测量精度
【出 处】 《光学仪器》2002年 第3期 11-13页 共3页
【收 录】 中文科技期刊数据库

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