ZrO2薄膜的改性与抗激光损伤研究

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摘　　要:

采用水热合成技术，制备了ZrO2胶体，用旋涂法镀制了单层ZrO2介质膜以及添加了有机粘合剂PVP的复合ZrO2-PVP薄膜。采用X射线衍射（XRD）、椭偏仪、红外分光光度计（FTIR）、原子力显微镜（AFM）等仪器对干凝胶及薄膜进行了性能测试和表征，并用输出波长为1．064μm、脉宽为10ns的电光调Q激光系统产生的强激光测试其激光损伤阈值。测得ZrO2和ZrO2-PVP薄膜在300℃热处理60min后的激光损伤阈值分别为24．5J／cm^2和37．8J／cm^2。研究表明：添加有机粘合剂后的复合薄膜具有平整的表面结构；有机粘合剂的添加有助于提高薄膜的折射率和激光损伤阈值，其中，ZrO2—PVP复合薄膜的折射率可高达1．75，激光损伤阈值达到37．8J／cm^2，比ZrO2单层膜的激光损伤阈值提高50％。 (共5页)