物理 >> 强激光与粒子束 >> 2007年19卷11期 >> 摘要

物理法和化学法制备的单层ZrO2膜的激光损伤行为差异

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郭袁俊[1,2] 祖小涛[1] 蒋晓东[2] 袁晓东[2] 徐世珍[1,2] 吕海兵[2] 王毕艺[1,2] 田东斌[1,2]

[1]电子科技大学应用物理系,成都610054 [2]中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900

《强激光与粒子束》

2007年第19卷第11期

摘　　要:

分别采用电子束热蒸发技术和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了光学厚度相近的ZrO2单层薄膜，测试了两类薄膜的激光损伤阈值。分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌、激光辐照前薄膜的杂质和缺陷状况以及激光辐照后薄膜的损伤形貌。实验结果表明：两类薄膜的不同损伤形貌与薄膜的热吸收与微观结构有关，物理法制备的ZrO2膜结构致密紧凑，膜层的杂质和缺陷多；化学法制备的ZrO2膜结构疏松多孔，膜层纯净杂质少，激光损伤阈值达26．9J／cm^2；因物理法制备的ZrO2膜拥有更大的热吸收（115．10×10^-6）和更小的孔隙率（0．20），其激光损伤阈值较小（18．8J／cm^2），损伤主要为溅射和应力破坏，而化学法制备的ZrO2膜的损伤主要为剥层。理论上对实验结果进行了解释。 (共4页)