多量子阱红外焦平面阵列研制进展

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摘　　要:

研制红外凝视成像导引头的一项关键技术，是要制造大面积的性能均匀的红外焦平面阵列。近年来，从能带工程的观点出发，使用以现代薄膜技术制造的多量子阱超晶格材料，采用微电子技术研制的多量子阱红外焦平面阵列的工作进展很快，备受人们关注。了解有关的发展背景、基本原理、先进技术和研制实例是十分有益的。 (共5页)