短腔长单模量子级联激光器

刘峰奇 郭瑜 李路 邵晔 刘俊岐 路秀真 王占国

中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京100083

摘  要:

报道了激射波长为5.4和7.84μm的应变补偿In1-xGaxAs/In1-yAlyAs量子级联激光器的单模激射.以高质量的应变补偿量子级联激光器材料为支撑,通过减小FP腔长,开辟实现单模器件的新途径.首次实现阈值电流仅为50mA、腔长为145μm的激射波长在λ≈5.4μm的单模激射和阈值电流仅为80mA、腔长为170μm的激射波长在λ≈7.84um的单模激射.这是目前InGaAs/InAlAs材料体系最短腔长的边发射量子级联激光器.

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