CMOS有源像素传感器特性分析与优化设计
徐江涛 姚素英 李斌桥 史再峰 高静
天津大学电子信息工程学院,天津300072
摘 要:
设计了一个三管有源像素和其用开关电容放大器实现的双采样读出电路．该电路被嵌入一64×64像素阵列CMOS图像传感器，在Chartered公司0．35μm工艺线上成功流片．在8μm×8μm像素尺寸下实现了57％的填充因子．测得可见光响应灵敏度为0．8V／（lux·s），动态范围为50dB．理论分析和实验结果表明随着工艺尺寸缩小，像素尺寸减小会使光响应灵敏度降低．在深亚微米工艺条件下，较深的n阱／p衬底结光电二极管可以提供合理的填充因子和光响应灵敏度．
学科分类:
TP212.14[工业技术 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化元件、部件 > 发送器（变换器）、传感器 > 物理传感器 > 光传感器]
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