微波功率器件的扇形线测试电路
罗卫军[1,2] 陈晓娟[2] 梁晓新[2] 马晓琳[2] 刘新宇[2] 王晓亮[1]
[1]中国科学院半导体研究所,北京100083 [2]中国科学院微电子研究所,北京100029
摘 要:
在微波电路原理和半导体器件物理的基础上，设计和模拟了两种用于微波功率器件的测试电路，并且设计了与之配套的测试夹具．采用矢量网络分析仪对该测试电路和夹具在3-8GHz范围内进行了小信号测试．模拟和测试结果都表明，采用扇形线的测试电路性能较好．最后采用该电路和夹具对C波段AlGaN／GaN HEMT微波功率器件进行了微波功率测试，测试频率为5．4GHz．实验测得最大功率增益为8．75dB，最大输出功率为33．2dBm。
学科分类:
TN4[工业技术 > 无线电电子学、电信技术 > 微电子学、集成电路（IC）]
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