物理 >> 半导体学报 >> 2007年28卷5期 >> 摘要

飞秒激光制备CdS薄膜滤波器的研究

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童杏林 刘恋 姜德生 刘忠明

武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室,武汉430070

《半导体学报》

2007年第28卷第5期

摘　　要:

采用脉冲飞秒激光沉积方法,在石英衬底上制备了CdS薄膜滤波器.研究显示衬底温度在100～600℃范围内变化对CdS薄膜衬底的结构及光学特性有重要影响,在450℃的衬底温度下所生长的CdS薄膜具有较好的结构质量,该薄膜在500nm附近具有较陡的吸收带边及良好的光学滤波性能.

关键词:

CdS薄膜滤波器脉冲激光沉积结构和光学特性

学科分类:

O484.1[数理科学和化学 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学 > 薄膜的生长、结构和外延]

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