一种InGaAs/InP复合沟道高电子迁移率晶体管模拟的新方法

刘亮 张海英 尹军舰 李潇 徐静波 宋雨竹 刘训春

中国科学院微电子研究所,北京100029

摘  要:

采用一种新方法对InGaAs/InP复合沟道高电子迁移率晶体管进行了模拟.该方法通过流体力学模型和密度梯度模型的联合求解,得到了沟道内的电子密度分布.与一些传统方法相比,该方法收敛性更好,速度更快,且同样适用于其他类型高电子迁移率晶体管器件的模拟.利用仿真对InGaAs/InP复合沟道高电子迁移率晶体管进行了深入研究. (共6页)

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