一种新型的基于滑膜阻尼的电容式双向MEMS惯性传感器
董林玺[1] 颜海霞[2] 钱忺[1] 孙玲玲[1]
[1]杭州电子科技大学微电子CAD研究所,杭州310018 [2]东芝水电设备有限公司,杭州311504
摘 要:
设计了一个新型的结构完全对称的双向MEMS电容式惯性传感器.该传感器主要由可动质量块、栅形条、支撑梁、连接梁、阻尼调整梳齿组成.设计的结构采用变电容面积的检测方式,在降低空气阻尼的同时也降低了对DRIE工艺的要求,并通过加大测试信号电压来降低电路噪声,从而提高传感器的分辨率.用有限元工具ANSYS详细讨论了传感器的参数和性能,并模拟验证了设计的双向传感器的交叉效应近似为零.制作了滑膜阻尼测试器件,在大气压下,测得的品质因子可达514 ,验证了该结构设计可以提高传感器的分辨率和该工艺设计的可行性. (共5页)
学科分类:
TN4[工业技术 > 无线电电子学、电信技术 > 微电子学、集成电路（IC）]
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