2001#$a半导体学报 210##$c中国电子学会中国科学院半导体研究所$b北京912信箱 326##$a月刊 011##$a0253-4177 091##$a11-1870/TN 690##$aTN 8564#$uwww.cjs.ac.cn 905##$a94689X

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