超声键合装置中劈刀稳态振动的试验建模

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摘　　要:

利用PSV-400—M2（1．5MHz）高频型扫描式激光多普勒测振仪，对超声键合装置中受正弦激励、超声加载作用下的键合工具（劈刀），在不同松紧度下的稳态振动进行了连续扫描测试。结果表明，当劈刀连接的松紧度发生改变时，其稳态振动表现出不确定性；同一松紧度下振动形态中出现单节点，但不同松紧度下节点出现的位置不同；劈刀末端的速度振幅并不是人们期望的那样是最大。此外，基于弹性梁振动的基本理论对劈刀的稳态振动进行了探讨，得到其振动的近似模型。 (共5页)