AgGaS2单晶生长石英安瓿镀碳工艺研究

雷勇波 赵北君 朱世富 陈宝军 谭波 吴小娟 黄毅

四川大学材料科学系,成都610064

摘  要:

研究了镀碳工艺参数对碳膜的表面形貌、厚度、碳膜与石英管内壁结合力的影响,发现在气体流量为30~40ml/min,镀碳温度为1040~1060℃,镀碳时间为30~40min,冷却时间为10~12h的条件下,可获得均匀、致密且结合牢固的碳膜层。用此工艺镀碳的石英安瓿生长出的AgGaS2晶体表面光洁,完整性好,缺陷较少。 (共4页)

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