松下电子元件开发出体积比原产品小40％的角速度传感器

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摘　　要:

日本松下电子元件公司开发出了外形尺寸为5．6mm×4．65mm×1．0mm的小型角速度传感器“EWTS98系列”，主要用于数码相机及数字摄像机等消费类电子产品的手抖动补偿用途。新产品为2轴一体型，内置与该公司原产品相同的功能，体积却减小了约40％。新产品采用了该公司曾在用于车辆控制的角速度传感器中使用过的“压电MEMS音叉”技术，该技术将硅晶圆上形成的压电薄膜应用于检测角速度的音叉。