学术
国际标准刊号：ISSN 1006-8945
国内统一刊号：CN 12-1203
摘 要:
对国内近20年来扩散技术的进展进行了介绍，引用不同科研人员的研究成果说明以下结论：硼扩散仍是目前扩散中最常用的扩散方法；乳胶源扩散比普通的硼扩散容易实现深扩散；乳胶硼铝扩散必须在抛光前进行，可采用两次扩散的方法来代替。[著者文摘]
文章出处:
《天津科技》-2008年1期 -64-65页
Tianjin Science & Technology
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收稿日期: 2007-12-26
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