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用侧向力显微镜对不同非晶态GeSbTe薄膜的摩擦性能研究

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解国新[1] 丁建宁[1] 范真[1] 付永忠[1] 朱守星[2]

[1]江苏大学微纳米技术研究中心,江苏镇江212013 [2]东华大学机械工程学院,上海200051

《摩擦学学报》

2005年第25卷第5期

摘　　要:

采用侧向力显微镜研究了磁控溅射方法制备的GeSbTe薄膜在大气环境中的纳米级摩擦性能，考虑了相对湿度、扫描速度及表面粗糙度对其摩擦性能的影响，对比不同成分的GeSbTe薄膜的摩擦特性。结果表明：在相对湿度较大时，扫描速度对针尖和GeSbTe薄膜之间的摩擦力影响很大；在其它条件相同、外加载荷较大时，同一载荷下的摩擦力与表面粗糙度呈线性关系，但在外加载荷较小的情况下，二者呈现非线性变化规律；相对湿度对Ge2Sb2Te5薄膜和针尖的粘附力影响较GeSb2Te4薄膜弱，且粘附力使得摩擦系数减小；在同一相对湿度下，由于薄膜成分的变化导致硬度不同，其对薄膜的摩擦性能也有一定影响。 (共5页)