纳／微米弹流油膜厚度测量系统
王学锋 郭峰 杨沛然
青岛理工大学机械工程学院,山东青岛266033
摘 要:
介绍了1种基于多光束干涉强度的弹流油膜厚度测量系统，包括其测量原理和测量系统的设计与组成．针对光弹流接触副，给出了简单易行的干涉级次判定方法．结果表明，该测量系统具有纳米量级的分辨率，可实现由纳米膜厚到微米膜厚的连续测量，适用于超薄弹流油膜厚度和微米级弹流油膜局部微小变化的研究．测量结果与已有的理论和研究结果吻合，证明了测量系统的可靠性． (共5页)
学科分类:
TH117.2[工业技术 > 机械、仪表工业 > 机械学（机械设计基础理论） > 机械摩擦、磨损与润滑 > 润滑]
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