纳米氮化锆薄膜的光学性能研究

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摘　　要:

采用射频磁控溅射法在载玻片和硅片上制备了纳米氮化锆薄膜。结果表明，纳米氮化锆薄膜（10-29nm）呈非晶态，其光学特性在波长380—2700nm的范围内平均可见光透过率为82．86％，平均反射率低至10．78％。扫描隧道谱（STS）分析表明薄膜禁带宽度E8为2．99eV，在可见光范围内光子多为透过，反射和吸收较弱。从薄膜的X光电子能谱图（XPS）可知，薄膜表面存在大量的ZrO2，对于纳米级的氮化锆薄膜而言，表面相ZrO2对整体光学性能的影响较大。