氮化铝光波导的特性研究

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陈林[1] 袁一方[2]

[1]上海第二工业大学 [2]上海理工大学

摘　　要:

氮化铝是一种重要的近紫外，蓝光半导体材料，它具有优良的物理特性。本文介绍了用ＭＯＣＶＤ制作的氮化铝波导的物理特性，尤其对氮化铝光波导薄膜的光学特进行了深入的研究，用波导测试的方法获得了其折射率的精确实验数据。 (共6页)

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