六角形孔径平面微透镜阵列的制作及成像

摘　　要:

由于传统的圆形孔径透镜阵列填充系数较小，而在模拟复眼光学系统中需要高填充系数的透镜阵列。为提高填充系数，采用光刻离子交换法制作了六角形孔径平面微透镜阵列，利用积分形式的光线方程式讨论了平面微透镜的近轴光学特性，研究了微透镜的光线轨迹方程式和一些重要的近轴成像特性，利用ABCD定理得到了六角形孔径平面微透镜像距、焦距的数学表达式。制作的平面微透镜阵列光学性能均匀，成像质量较好，离子交换后的变折射率区域有微小重叠，较大地提高了微透镜阵列的填充系数。