基于MEMS粘附问题中关键表面力的分析

评论推荐

刘庆玲

廊坊师范学院,河北廊坊065000

摘　　要:

粘附是MEMS器件在加工、操作过程中特有的现象，根据微机械中作用力的尺度效应与表面效应，分析表面张力、范得瓦耳斯力、静电力对粘附的影响机理，同时给出了抗粘附的常用的技术方法。 (共3页)

相关文章:

主题相关 参考文献(5篇)　耦合文献(4篇)　
参考文献+更多
相关期刊+更多
    中国业务群个人门户,免费下载!
    征稿启事
    社区热帖+更多
    天元数据 维普资讯 版权所有 Copyright © 2001-2008 cqvip.com Inc. All rights reserved.
    渝ICP证 B2-20050021　　违法和不良信息举报中心
    建议使用：1024x768分辨率，16位以上颜色