超纯镓的研制和产业化

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范家骅

南京金美镓业有限公司,江苏南京211165

摘　　要:

实现超纯镓生产的产业化。存在着产品质量的可靠性和稳定性两大问题．提出了对超纯镓纯度的定义．指出用GDMS分析方法．结合SI—GaAs或MBEGaAs膜的迁移率作依据。来确定超纯镓的纯度．在加强质保体系的同时．研究了先进的生产工艺．建成了年产15t超纯镓的生产线，产品质量达到了法国GEO Gallium公司的水平．
关 键 词:
镓 超纯 产业化

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