相变存储器测试系统中的脉冲信号的改善

梁爽[1,2] 宋志棠[1] 刘波[1] 陈小刚[1] 封松林[1]

[1]中国科学院上海微系统与信息技术研究所,纳米技术研究室,上海200050 [2]中国科学院研究生院,北京100039

摘  要:

相变存储器测试系统由于PCI控制卡中的总线信号之间的串扰,严重影响了施加在器件单元上的波形;以保证对C-RAM(Chalcogenide-Random Access Memory)进行非晶化操作时脉冲信号下降沿的速度和整个信号的完整性,针对以上问题分别从串口与单片机通信控制继电器和利用PCI控制卡控制继电器两个方面提出了解决方案,并进行了相应的硬件电路和软件设计;结果发现非晶化操作时脉冲信号下降速度加快,并且消除了信号的失真;改善后的测试系统对器件一致性的参数的提取发挥了重要作用,为芯片的电路设计奠定了基础。 (共3页)

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