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微纳电子技术
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《微纳电子技术》是中文核心期刊，是国家新闻出版局批准公开发行、中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的科技期刊。 《微纳电子技术》的前身是《半导体情报》，创刊于1964年。2002年为了顺应国内外纳米科技发展的趋势，《半导体情报》完成了其历史使命，更名为《微纳电子技术》，是中国最早公开出版发行的涉足纳米科学与技术领域的杂志，对国内纳米科学与技术、MEMS技术领域具有一定的影响。其内容包括：纳米电子学、纳米电子器件、纳米材料、纳米测量技术与设备、MEMS器件与技术、纳米技术应用以及国内外纳米材料与器件的最新进展报道，兼顾微米电子领域的最新研究成果和进展。栏目分为：技术论坛，器件与技术，材料与结构，MEMS与传感器，加工、测量与设备。
- 主管单位： 中国电子科技集团公司
- 主办单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 出版地区： 河北
- 出版周期： 月刊
- 别名： Micronanoelectronic Technology
- 国内统一连续出版物号： CN 13-1314/TN
- 国际标准连续出版物号： ISSN 1671-4776
- 创刊时间： 1964年
- 曾用名： 半导体情报
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2025年02期
共：20篇