期刊简介

主要发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果，涵盖仿真建模、工艺、设计、量测、封装、材料、设备等全学术研究领域，期刊已被DOAJ、CrossRef、CAS、中国知网、维普等国内外主流数据库收录。