带有本征层的异质结(HIT)太阳电池具有转换效率高和制备工艺温度低的优点,成为备受关注的新型高效太阳电池之一。将绒面结构的单晶硅衬底用于HIT太阳电池,可以增强电池的光吸收效率。但是,在沉积非晶硅薄膜时金字塔间的沟壑处往往容易发生外延,从而使单晶硅和非晶硅界面处的缺陷增多,导致电池性能下降。因此,研究单晶硅衬底的表面处理工艺并对工艺进行优化,以及找到提高电池性能的衬底形貌具有极为重要的意义。本文针对HIT太阳电池用单晶硅衬底的清洗和制绒工艺进行了详细的研究。
(1)通过优化硅衬底清洗工艺,衬底的少数载流子寿命明显提高。研究了敞开体系下碱制绒过程中预清洗、异丙醇、氢氧化钠浓度和温度对制绒效果的影响,找到了优化的制绒工艺。通过调控温度和溶液浓度配比,得到两步法制绒的优化工艺。
(2)研究了异丙醇浓度、制绒时间、衬底类型和硅酸钠加入量对绒面性能的影响,得到基于n型单晶硅衬底的优化制绒工艺。利用优化工艺制绒的衬底的反射率在波长1011nm处降低到了9.14%,应用该衬底的HIT太阳电池的光谱响应增大,且在400nm处达到70%。
(3)研究了硅衬底表面形貌的修饰工艺,采用绒面平滑处理和四甲基氢氧化铵(TMAH)制绒两种技术手段修饰硅衬底绒面微形貌。结果表明,经过5s混合酸平滑处理的绒面衬底可以兼顾较好的陷光性能和界面质量,其HIT电池的开路电压,从平滑处理前的564.6mV提高到了609.4mV,转换效率从11.8%提高到了12.4%。用TMAH制绒30min之后,其HIT电池的转换效率达到了13.7%。对比绒面平滑处理,TMAH制绒不会带来金属离子污染,并易于获得柔和的金字塔形貌,可使HIT电池的性能更好。 摘要译文
HIT太阳电池; 单晶硅; 清洗; 制绒; 金字塔; 反射率
080709[储能科学与工程];080809[新能源发电与电能存储]