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Journal of Microelectronic Manufacturing
发文量 66
被引量 174

主要发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果,涵盖仿真建模、工艺、设计、量测、封装、材料、设备等全学术研究领域,期刊已被DOAJ、CrossRef、CAS、中国知网、维普等国内外主流数据库收录。

  • 主管单位: 中国科学院
  • 主办单位: 中国科学院微电子研究所
  • 出版地区: 北京市
  • 出版周期: 季刊
  • 别名: 微电子制造学报(英文)
  • 国际标准连续出版物号 ISSN 2578-3769
  • 创刊时间: 2018年
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封面
2021年4期
共:1篇

    • Lihong LiuThierry Engel-Huwen DingYuanzhi CuiJing ZhangYayi WeiManuel Flury

      1-11
2021年4期

2021年4期