文献信息
《微细加工技术》创刊于1983年,是国家科委和国家新闻出版署批准,国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物,已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊,是《中国科学引文数据库》来源期刊。
电子束曝光机金刚石薄膜微机电系统微细加工技术离子注入机电子束曝光集成电路离子电子束反应离子刻蚀等离子体LIGA技术金刚石光刻技术X射线光刻半导体器件光刻胶扫描电子显微镜电子束光刻曝光技术
无数据
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1996
1995
1994
1993
1992
1991
1990
1989
离子束技术
伍三忠吴学忠
光子束技术
李晶晶赵以贵贾锐李冬梅牛洁斌柯导明陈军宁
马杰朱效立谢常青叶甜春赵珉刘明陈宝钦朱日宏高志山马骏
吴璇陈军宁朱效立牛洁斌李亚文胡松谢常青
薄膜技术
石锋李玉国孙钦军
张林张昌文王永娟
徐庆岩吴雪梅诸葛兰剑陈学梅吴兆丰
王亚军刘景全沈修成杨春生郭中元芮岳峰
微机械加工技术
朱波刘贵昌施志聪王华刘伟
徐春晓房立清周新伟
陈前林吴建青王龙现
程知群周云芳张胜
赵彦生陈凯刘永梅刘成岑张向英申迎华
刘长久黄良花赵卫民邢春晓刘爱芳
李倩刘国华徐进良张伟
刘凯张卫平陈文元刘武李凯戴福彦
朱丽虹李晓莹刘宝林
钟胜奎刘乐通刘洁群姜吉琼王健李阳郑少英
巩翠翠胡志强苏岩李璞周红茹康姣
王必本王峰瀛党纯
2008年6期
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