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等离子体应用技术快报
发文量 864
被引量 27

  • 主办单位： 核工业西南物理研究院
  • 出版地区： 四川省
  • 出版周期： 月刊
热门主题：

集成电路等离子体源ECR等离子体等离子体蚀刻氮化钛电子回旋共振化学气相沉积等离子体沉积二氧化硅等离子体加工离子植入半导体器件带电粒子表面改性等离子体离子蚀刻微波等离子体等离子体喷涂等离子体辅助化学气相沉积磁控管溅射

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封面
2000年12期
共：14篇

    • 卫冰

      1-4

    • 李兵

      4-5

    • 拾灵

      6-6

    • 蓉佳

      7-8

    • 李豫

      9-10

    • 卫冰

      11-13

    • 拾灵

      14-15

    • 蔚然

      16-17

    • 马兵

      17-19

    • 白雪

      19-21

    • 马兵

      21-23

    • 23-23

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    • 24-24
2000年12期

2000年12期

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