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等离子体应用技术快报
发文量 864
被引量 29

  • 主办单位： 核工业西南物理研究院
  • 出版地区： 四川省
  • 出版周期： 月刊
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集成电路脉冲电子束ECR等离子体氮化钛电子回旋共振化学气相沉积等离子体沉积二氧化硅等离子体加工等离子体刻蚀离子植入带电粒子表面改性等离子喷涂等离子体等离子源微波等离子体磁控溅射镀膜等离子体辅助化学气相沉积离子刻蚀

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封面
2000年12期
共：14篇

    • 卫冰

      1-4

    • 李兵

      4-5

    • 拾灵

      6-6

    • 蓉佳

      7-8

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      9-10

    • 卫冰

      11-13

    • 拾灵

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    • 马兵

      21-23

    • 23-23

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2000年12期

2000年12期

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