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美国
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Journal of Microelectromechanical Systems 中科院3区 JCR:Q3 JCR:Q2 SCIE EI IEEE PubMed JST
发文量 4,012
被引量 187,724
影响因子(2025版) 2.417

The topics of interest for the Journal of Microelectromechnical Systems include, but are not limited to: devices ranging in size from microns to millimeters, IC-compatible fabrication techniques, other fabrication techniques, measurement of micro phenomena, theoretical results, new materials and designs, micro actuators, micro robots, micro batteries, bearings, wear, reliability, electrical interconnections, micro telemanipulation, and standards appropriate to MEMS. Application examples and application oriented devices in fluidics, optics, bio-medical engineering, etc., are also of central interest.

  • 主办单位： IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
  • 出版地区： PISCATAWAY
  • 出版周期： 年6期
  • 别名： J MICROELECTROMECH S;J. Microelectromech. Syst.;JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS;微电子机械系统杂志
  • 国际标准连续出版物号/电子版： ISSN 1057-7157 / EISSN 1941-0158
  • 创刊时间： 1992年
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