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美国
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Journal of Vacuum Science & Technology A 中科院4区 JCR:Q3 SCIE EI CA PubMed JST
发文量 18,874
被引量 435,612
影响因子(2025版) 1.913

Journal of Vacuum Science & Technology A publishes reports of original research, letters, and review articles that focus on fundamental scientific understanding of interfaces, surfaces, plasmas and thin films and on using this understanding to advance the state-of-the-art in various technological applications.

  • 主办单位： A V S AMER INST PHYSICS
  • 出版地区： MELVILLE
  • 出版周期： 双月刊
  • 别名： J VAC SCI TECHNOL A;J. Vac. Sci. Technol. A;J. Vac. Sci. Technol., A;Journal of Vacuum Science & Technology, A: Vacuum, Surfaces, and Films;Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films;真空科学与技术期刊A部分：真空吸尘器、表面和薄膜;JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A;Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films;Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
  • 国际标准连续出版物号/电子版： ISSN 0734-2101 / EISSN 1520-8559
  • 创刊时间： 1983年
  • 曾用名： Journal of vacuum science and technology
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化学气象沉积氧化物分光光谱电感耦合等离子体分子束外延电子回旋共振X射线光电子能谱负电子等离子体增强化学气相沉积电离子解吸附作用原子层沉积光电子发射等离子体蚀刻画显微镜术磁控溅射镀膜衬底基片俄歇电子光谱等离子体增强型原子层沉积

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