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硅表面负电子单晶体通道效应离子植入电离子计算机仿真X射线形貌术立体曲面晶化作用衬底基片表面波传感器近地面边界层微分截面角分布多层膜反射镜无晶体性电子束投影曝光技术X射线衍射术同步辐射晶体
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