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外延生长硅化物高温材料半导体电离子角散射法机械安定性电荷载流子密度原子层外延生长物相形成单原子层可溶性元素离子注入隔离聚合物降解无晶体性杂质污物ULSI技术致热反应局部固态非晶化小角散射技术
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