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外延生长硅化物高温材料电离子角散射法机械安定性金属有机物化学气相外延衬底基片非晶态相原子层外延生长物相形成单原子层可溶性元素离子注入隔离聚合物降解薄胶片无晶体性ULSI技术致热反应小角散射技术
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