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Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology
中科院3区 JCR:Q4 JCR:Q3 EI PubMed JST
- 主办单位： SPIE-SOC PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS
- 出版地区： BELLINGHAM
- 出版周期： 季刊
- 别名： J MICRO-NANOPATTERN;J. Micro-Nanopatterning Mater. Metrol.-JM3;JOURNAL OF MICRO-NANOPATTERNING MATERIALS AND METROLOGY-JM3
- 创刊时间： 2021年
- 曾用名： Journal of Micro - Nanolithography MEMS and MOEMS,Journal of Microlithography, Microfabrication and Microsystems
期刊信息
- 主办单位：SPIE-SOC PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS
- 主 编：Harry Levinson
- 地 址： BELLINGHAM
期刊简介