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Journal of Vacuum Science and Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics
中科院4区 JCR:Q4 SCIE EI CA PubMed JST
- 主办单位： A V S AMER INST PHYSICS
- 出版地区： MELVILLE
- 出版周期： 双月刊
- 别名： JVSTB;J VAC SCI TECHNOL B;J. Vac. Sci. Technol. B;J. Vac. Sci. Technol., B:Nanotechnol. Microelectron.;JVST B;Journal of Vacuum Science & Technology, B: Nanotechnology & Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, & Phenomena;Journal of Vacuum Science & Technology B;Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena;真空科学与技术期刊B部分：纳米技术与微电子学;Journal of Vacuum Science and Technology B;JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B;Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena : JVST B
- 国际标准连续出版物号/电子版： ISSN 2166-2746 / EISSN 2166-2754
- 创刊时间： 1983年
- 曾用名： Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures
期刊信息
- 主办单位：A V S AMER INST PHYSICS
- 地 址： MELVILLE
期刊简介