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发文量
1,083
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被引量
31,267
发文量
1,755
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被引量
27,159
美国
主办单位：SPIE-SOC PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS
出版周期： 季刊
别名： J MICRO-NANOPATTERN;J MICRO-NANOPATTERNING MATER;J. Micro-Nanopatterning Mater. Metrol.-JM3;JOURNAL OF MICRO-NANOPATTERNING MATERIALS AND METROLOGY-JM3;Journal of Micro-Nanopatterning Materials and Metrology-JM3;Journal of Micro/Nanopatterning, Materials and Metrology
•
曾用名：Journal of Micro - Nanolithography MEMS and MOEMS,Journal of Microlithography, Microfabrication and Microsystems
EISSN 2708-8340
发文量
2,090
\
被引量
23,589
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影响因子（2025版）
1.158
发文量
493
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被引量
14,965
美国
主办单位：IEEE
别名： IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS PACKAGING AND MANUFACTURING TECHNOLOGY PART A;IEEE Transactions on Components Packaging and Manufacturing Technology Part A;IEEE Transactions on Components, Packaging & Manufacturing Technology, Part A;IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology Part A;IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology - Part A
ISSN 1070-9886 / EISSN 1558-3678
发文量
452
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被引量
13,323
发文量
66
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被引量
12,176
发文量
612
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被引量
9,477
美国
主办单位：IEEE
别名： IEEE Transactions on Components Packaging and Manufacturing Technology Part B;IEEE Transactions on Components, Packaging & Manufacturing Technology, Part B;IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology. Part B, Advanced Packaging;IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology - Part B: Advanced Packaging
ISSN 1070-9894 / EISSN 1558-3686
发文量
426
\
被引量
9,230
发文量
4,836
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被引量
6,077
美国
主办单位：Institute of Electrical and Electronics Engineers
出版周期： 年刊
别名： Tech Dig Int Electron Devices Meet;Technical digest. International Electron Devices Meeting
•
曾用名：Technical digest / International Electron Devices Meeting,International Electron Devices Meeting.[technical program]
ISSN 0163-1918 / EISSN 2156-017X
发文量
309
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被引量
5,041
发文量
1,466
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被引量
2,824
发文量
3,321
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被引量
2,318
美国
主办单位：IEEE
出版周期： 年4期
别名： IEEE Transactions on Components, Packaging & Manufacturing Technology, Part C;IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology. Part C. Manufacturing;IEEE transactions on components, packaging and manufacturing technology. Part C. Manufacturing
ISSN 1083-4400 / EISSN 1558-1241
发文量
116
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被引量
2,303
发文量
473
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被引量
2,120
发文量
444
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被引量
1,969
发文量
5,283
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被引量
1,908
发文量
3,097
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被引量
1,793
发文量
189
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被引量
1,761
发文量
331
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被引量
1,721